真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行,燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。 真空燒結(jié)爐是在真空或保護氣氛條件下,利用中頻感應(yīng)加熱的原理使硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結(jié)的成套設(shè)備,是為硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計的。
真空燒結(jié)爐主要用于硬質(zhì)合金、粉沫冶金行業(yè)生產(chǎn)各種粒度的碳化鎢粉、碳化鈦粉、碳化釩粉等金屬粉沫及復(fù)合金屬粉沫。該系統(tǒng)對碳化硅質(zhì)量有明顯改善,與傳統(tǒng)碳化爐相比,具有反應(yīng)*、粒度均勻、化合含碳量高、游離含碳量低等優(yōu)勢,而且產(chǎn)量高、抗疲勞條件好、使用壽命長。
真空燒結(jié)爐的溫度控制系統(tǒng)的規(guī)格是什么:
1.溫度控制: PID自動控制溫度,數(shù)字顯示(可編程度30段曲線;全自動升溫、保溫、降溫)上限報警、偏差報警、程序運行結(jié)束自動停止、無需人值守(可做成一鍵抽真空升降溫,全程PLC控制)
2.溫控儀表線性電流輸出,觸發(fā)器移相觸發(fā)反并聯(lián)雙向可控硅。
3.控溫熱電偶采用S分度熱電偶
4.警報動作:
a.超溫報警:爐內(nèi)溫度上升達到報警溫度時,自動切斷電源,報警提示燈亮。
b.斷偶報警:熱電偶開路,儀表報警并自動斷電。