原來這就是真空碳管燒結(jié)爐的性能所在!
發(fā)布日期:2021-06-11 瀏覽次數(shù):1394
真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行,燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。 真空系統(tǒng)是由擴(kuò)散泵、機(jī)械泵以及真空閥等組成。真空的測量采用熱偶真空計(jì)和電離真空計(jì)。電氣系統(tǒng)由可控硅電壓調(diào)整器、低電壓變大電流變壓器和控制柜所組成。
主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐,它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐,額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下,允許在保護(hù)氣氛中,短時(shí)間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結(jié)爐殼體和真空管道均采用數(shù)控自動(dòng)焊接設(shè)備進(jìn)行焊接加工,焊縫光滑平整無虛焊夾砂現(xiàn)象發(fā)生,確保真空容器不會(huì)漏氣,滿足用戶的技術(shù)要求。采用進(jìn)口萊寶氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行壓升率檢測,數(shù)字顯示,反應(yīng)靈敏,可保證技術(shù)指標(biāo)的可信和精確,壓升率指標(biāo)優(yōu)于國標(biāo)的小值。